高精度傳感器就是指測(cè)量觀測(cè)結(jié)果、計(jì)算值或估計(jì)值與真值（或被認(rèn)為是真值）之間的接近程度很高，可以很真實(shí)的還原物體的本質(zhì)的高精度傳感器。

目前常用的高精度傳感器是激光傳感器，其精度主要取決于光的單色性的好壞。激光是理想的光源，它比以往的單色光源（氪-86燈）還純10萬倍。因此激光測(cè)長(zhǎng)的量程大、精度高。由光學(xué)原理可知單色光的可測(cè)長(zhǎng)度 L與波長(zhǎng)λ和譜線寬度δ之間的關(guān)系是L=λ/δ。用氪－86燈可測(cè)長(zhǎng)度為38.5厘米，對(duì)于較長(zhǎng)物體就需分段測(cè)量而使精度降低。若用氦氖氣體激光器，則可測(cè)幾十公里。一般測(cè)量數(shù)米之內(nèi)的長(zhǎng)度，其精度可達(dá)0.1微米。比如說ZLDS10X。以下介紹兩種高精度位移傳感器的特征：

ZLDS100R-4-39傳感器可用于鏡面和玻璃的表面測(cè)量；

頻率響應(yīng)：2K、5K、8K、9.4K；

針對(duì)串口，提供了運(yùn)行應(yīng)用的DLL開發(fā)庫(kù)，方便用戶開發(fā)應(yīng)用軟件；

支持特殊量程(如遠(yuǎn)距離起始700mm小量程300mm等)；

分辨率0.01%,線性度0.1%；